KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Static Pull-in Behavior of Hybrid Levitation Microactuators : Simulation, Modeling, and Experimental Study

Poletkin, Kirill V. 1
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Download
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/TMECH.2020.2999516
Scopus
Zitationen: 2
Dimensions
Zitationen: 5
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsdatum 15.04.2021
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1083-4435, 1941-014X
KITopen-ID: 1000119930
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erschienen in IEEE ASME transactions on mechatronics
Verlag Dynamic Systems and Control Division
Band 26
Heft 2
Seiten 753–764
Vorab online veröffentlicht am 02.06.2020
Nachgewiesen in Scopus
Dimensions
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page