Static Pull-in Behavior of Hybrid Levitation Microactuators : Simulation, Modeling, and Experimental Study
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 15.04.2021 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1083-4435, 1941-014X KITopen-ID: 1000119930 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | IEEE ASME transactions on mechatronics |
| Verlag | Dynamic Systems and Control Division |
| Band | 26 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 753–764 |
| Vorab online veröffentlicht am | 02.06.2020 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |