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Static Pull-in Behavior of Hybrid Levitation Micro-Actuators: Simulation, Modelling and Experimental Study

Poletkin, Kirill

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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/TMECH.2020.2999516
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1083-4435, 1941-014X
KITopen-ID: 1000119930
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erschienen in IEEE ASME transactions on mechatronics
Verlag Dynamic Systems and Control Division
Vorab online veröffentlicht am 02.06.2020
Nachgewiesen in Scopus
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