Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsdatum | 25.06.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000120274 |
Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
Umfang | XII, 101 S. |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdatum | 08.05.2020 |
Referent/Betreuer | Kohl, M. |