Ellipsometric inline inspection of dielectric substrates with nonplanar surfaces
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 25.06.2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0170-575X, 0171-8096, 0340-4021, 0340-837X, 0365-7418, 2196-7113 KITopen-ID: 1000120445 |
| Erschienen in | Technisches Messen |
| Verlag | De Gruyter |
| Band | 87 |
| Heft | 6 |
| Seiten | 6 |
| Vorab online veröffentlicht am | 06.09.2019 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |