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Ellipsometric inline inspection of dielectric substrates with nonplanar surfaces

Hartrumpf, Matthias; Chen, Chia-Wei 1; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen 1
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1515/teme-2019-0097
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsdatum 25.06.2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0170-575X, 0171-8096, 0340-4021, 0340-837X, 0365-7418, 2196-7113
KITopen-ID: 1000120445
Erschienen in Technisches Messen
Verlag De Gruyter
Band 87
Heft 6
Seiten 6
Vorab online veröffentlicht am 06.09.2019
Nachgewiesen in Dimensions
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