Retroreflex ellipsometry for isotropic substrates with nonplanar surfaces
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754, 2327-9877 KITopen-ID: 1000120447 |
| Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 38 |
| Heft | 1 |
| Seiten | 014005 |
| Vorab online veröffentlicht am | 18.12.2019 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |