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Retroreflex ellipsometry for isotropic substrates with nonplanar surfaces

Chen, Chia-Wei; Hartrumpf, Matthias; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754, 2327-9877
KITopen-ID: 1000120447
Erschienen in Journal of vacuum science & technology / B
Verlag American Vacuum Society
Band 38
Heft 1
Seiten 014005
Vorab online veröffentlicht am 18.12.2019
Nachgewiesen in Dimensions
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