Imaging ellipsometry for curved surfaces
Negara, Christian
; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen 1
1 Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen 11 Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754, 2327-9877 KITopen-ID: 1000120448 |
| Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 38 |
| Heft | 1 |
| Seiten | Art.Nr.: 014016 |
| Vorab online veröffentlicht am | 21.01.2020 |
| Externe Relationen | Siehe auch |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |