Analytic solutions for calculating the surface inclination of isotropic media and bare substrates by using reflection-based generalized ellipsometry
Negara, Christian
; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen
; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754, 2327-9877 KITopen-ID: 1000120449 |
| Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / B |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 38 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 034012 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | This paper is part of the Conference Collection: 8th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry 2019, ICSE |
| Vorab online veröffentlicht am | 27.04.2020 |
| Nachgewiesen in | Dimensions |