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Analytic solutions for calculating the surface inclination of isotropic media and bare substrates by using reflection-based generalized ellipsometry

Negara, Christian; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0734-211X, 1071-1023, 1520-8567, 2166-2746, 2166-2754, 2327-9877
KITopen-ID: 1000120449
Erschienen in Journal of vacuum science & technology / B
Band 38
Heft 3
Seiten 034012
Bemerkung zur Veröffentlichung This paper is part of the Conference Collection: 8th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry 2019, ICSE
Vorab online veröffentlicht am 27.04.2020
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