| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1094-4087 KITopen-ID: 1000120562 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Optics express |
| Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
| Band | 28 |
| Heft | 11 |
| Seiten | 16511-16525 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Web of Science Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |