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Study of (Ti,Zr)C:H/a-C:H nanocomposite thin film formation by low temperature reactive high power impulse magnetron sputtering

Poltorak, C. 1; Stüber, M. 1; Leiste, H. 1; Bergmaier, A.; Ulrich, S. 1
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.surfcoat.2020.125958
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Zitationen: 10
Dimensions
Zitationen: 10
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0257-8972, 1879-3347
KITopen-ID: 1000121312
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erschienen in Surface and coatings technology
Verlag Elsevier
Band 398
Seiten Article: 125958
Nachgewiesen in Dimensions
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