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Levitation Micro-Systems : Applications to Sensors and Actuators

Poletkin, Kirill



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Publikationsjahr 2020
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-030-58908-0
KITopen-ID: 1000122377
Verlag Springer Verlag GmbH Deutschland
Nachgewiesen in Dimensions
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