Levitation Micro-Systems : Applications to Sensors and Actuators
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buch |
| Publikationsjahr | 2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-030-58908-0 KITopen-ID: 1000122377 |
| Verlag | Springer Verlag |
| Nachgewiesen in | Dimensions |