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High Resolution On‐Demand Nanostructures

Schneider, Norbert; Gspann, Thurid; Kolew, Alexander; Schneider, Marc 1; Leuthold, Juerg; Worgull, Matthias
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/pssa.201900688
Dimensions
Zitationen: 2
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 10.2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1862-6300, 1862-6319
KITopen-ID: 1000122457
HGF-Programm 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems
Erschienen in Physica status solidi / A
Verlag John Wiley and Sons
Band 217
Heft 20
Seiten Art.Nr. 1900688
Vorab online veröffentlicht am 27.07.2020
Nachgewiesen in Dimensions
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