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High Resolution On‐Demand Nanostructures

Schneider, Norbert; Gspann, Thurid; Kolew, Alexander; Schneider, Marc; Leuthold, Juerg; Worgull, Matthias



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1002/pssa.201900688
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1862-6300, 1862-6319
KITopen-ID: 1000122457
HGF-Programm 43.22.03 (POF III, LK 01) Printed Materials and Systems
Erschienen in Physica status solidi / A
Verlag Wiley
Vorab online veröffentlicht am 27.07.2020
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