Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Technische Chemie und Polymerchemie (ITCP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsdatum | 27.08.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0935-9648, 1521-4095 KITopen-ID: 1000122688 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Advanced materials |
Verlag | John Wiley and Sons |
Band | 32 |
Heft | 34 |
Seiten | Art.Nr. 2003060 |
Vorab online veröffentlicht am | 09.07.2020 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |