Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsdatum | 09.07.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0031-9007, 1079-7114, 1092-0145 KITopen-ID: 1000122744 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Physical review letters |
Verlag | American Physical Society (APS) |
Band | 124 |
Heft | 23 |
Seiten | Art. Nr.: 235502 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |