| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1077-260X, 1558-4542 KITopen-ID: 1000122777 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | IEEE journal of selected topics in quantum electronics |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Band | 26 |
| Heft | 5 |
| Seiten | Art. Nr.: 9126140 |
| Vorab online veröffentlicht am | 25.06.2020 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Dimensions Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |