Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1077-260X, 1558-4542 KITopen-ID: 1000122777 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | IEEE journal of selected topics in quantum electronics |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Band | 26 |
Heft | 5 |
Seiten | Art. Nr.: 9126140 |
Vorab online veröffentlicht am | 25.06.2020 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |