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Micro-actuation design in VO$_{2}$-based bimorph cantilevers

Craciunescu, Corneliu Marius; Kohl, Manfred; Ercuta, Aurel



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/1361-665X/abb353
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsdatum 06.10.2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0964-1726, 1361-665X
KITopen-ID: 1000123092
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erschienen in Smart materials and structures
Verlag IOP Publishing
Band 29
Heft 1
Seiten Art.Nr. 115035
Vorab online veröffentlicht am 27.08.2020
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