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Direct-imaging DOEs for high-NA multi-spot confocal microscopy = Direct-imaging DOEs für konfokale Multi-Spot-Mikroskopie mit hoher NA

Li, Zheng; Taphanel, Miro; Längle, Thomas; Beyerer, Jürgen



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1515/teme-2020-0017
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsdatum 01.09.2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0170-575X, 0171-8096, 0340-4021, 0340-837X, 0365-7418, 2196-7113
KITopen-ID: 1000123864
Erschienen in Technisches Messen
Band 87
Heft SH
Seiten S40-S43
Vorab online veröffentlicht am 28.08.2020
Externe Relationen Abstract/Volltext
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