Niobium ETCH products in a CF₄ / 0₂ PLASMA
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsmonat/-jahr | 12.1986 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-11-086239-3 KITopen-ID: 1000124040 |
| Erschienen in | SQUID '85 Superconducting Quantum Interference Devices and their Applications. Ed.: H.-D. Hahlbohm |
| Veranstaltung | 3rd Superconducting Quantum Interference Devices and their Applications (SQUID 1985), West-Berlin, Deutschland, 25.06.1985 – 28.06.1985 |
| Verlag | De Gruyter |
| Seiten | 659–664 |
| Nachgewiesen in | Dimensions |