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Niobium ETCH products in a CF₄ / 0₂ PLASMA

Fromknecht, R.; Neuhaus, M.; Jutzi, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsmonat/-jahr 12.1986
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-11-086239-3
KITopen-ID: 1000124040
Erschienen in SQUID '85 Superconducting Quantum Interference Devices and their Applications. Ed.: H.-D. Hahlbohm
Veranstaltung 3rd Superconducting Quantum Interference Devices and their Applications (SQUID 1985), West-Berlin, Deutschland, 25.06.1985 – 28.06.1985
Verlag De Gruyter
Seiten 659–664
Nachgewiesen in Dimensions
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