Evaluation of the mechanical properties of germanium-on-insulator (GeOI) films by Raman spectroscopy and nanoindentation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550, 1520-8850, 2163-5102 KITopen-ID: 1000124109 |
| HGF-Programm | 43.22.02 (POF III, LK 01) Nanocatalysis |
| Erschienen in | Journal of applied physics |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 128 |
| Heft | 6 |
| Seiten | Art.-Nr.: 065104 |
| Vorab online veröffentlicht am | 12.08.2020 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |