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Evaluation of the mechanical properties of germanium-on-insulator (GeOI) films by Raman spectroscopy and nanoindentation

Mohammed, Y. S.; Zhang, K.; Heissler, S. 1; Baumgart, H.; Elmustafa, A. A.
1 Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000124109
Veröffentlicht am 03.06.2022
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/5.0013454
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Zitationen: 1
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Funktionelle Grenzflächen (IFG)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0021-8979, 0148-6349, 1089-7550, 1520-8850, 2163-5102
KITopen-ID: 1000124109
HGF-Programm 43.22.02 (POF III, LK 01) Nanocatalysis
Erschienen in Journal of applied physics
Verlag American Institute of Physics (AIP)
Band 128
Heft 6
Seiten Art.-Nr.: 065104
Vorab online veröffentlicht am 12.08.2020
Nachgewiesen in Dimensions
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