Laser reflection measurements for end point detection and analysis in Nb/Al$_2$O$_3$-Al/Nb Josephson circuit fabrication
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 09.1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0921-4534 KITopen-ID: 1000124166 |
| Erschienen in | Physica / C |
| Verlag | North-Holland Publishing |
| Band | 214 |
| Heft | 3-4 |
| Seiten | 365–370 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |