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Laser reflection measurements for end point detection and analysis in Nb/Al2O3Al/Nb Josephson circuit fabrication

Dolata, R.; Neuhaus, M.; Jutzi, W.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/0921-4534(93)90839-I
Scopus
Zitationen: 6
Web of Science
Zitationen: 7
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 09.1993
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0921-4534
KITopen-ID: 1000124166
Erschienen in Physica / C
Band 214
Heft 3-4
Seiten 365–370
Nachgewiesen in Scopus
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