Technology of thin nitride films of Al and Nb for cryogenic quantum applications
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsdatum | 03.10.2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000124297 |
| Veranstaltung | Workshop "Kryoelektronische Bauelemente" (KRYO 2011), Autrans, Frankreich, 02.10.2011 – 04.10.2011 |