Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 07.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1616-301X, 1616-3028 KITopen-ID: 1000124865 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Advanced functional materials |
Verlag | Wiley-VCH Verlag |
Band | 30 |
Heft | 30 |
Seiten | Art.-Nr.: 2003402 |
Vorab online veröffentlicht am | 08.06.2020 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |