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Characterization of the reliability and uniformity of an anodization-free fabrication process for high-quality Nb/Al–AlO$_x$/Nb Josephson junctions

Kempf, S.; Ferring, A.; Fleischmann, A.; Gastaldo, L.; Enss, C.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0953-2048/26/6/065012
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsdatum 07.05.2013
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0953-2048, 1361-6668
KITopen-ID: 1000125000
Erschienen in Superconductor science and technology
Verlag Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd)
Band 26
Heft 6
Seiten Art.Nr.: 065012
Nachgewiesen in Dimensions
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