Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 04.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0022-5096 KITopen-ID: 1000125108 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Journal of the mechanics and physics of solids |
Verlag | Elsevier |
Band | 137 |
Seiten | Art. Nr.: 103877 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |