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Trockenätzen von Niobschichten mit $CF_4$/$O_2$- und $SF_6$/$O_2$-Plasmen

Fromknecht, Rainer


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1988
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 1000125202
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Umfang 205 S.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT)
Institut Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI)
Prüfungsdatum 01.01.1988
Referent/Betreuer Prof. W. Jutzi
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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