Trockenätzen von Niobschichten mit $CF_4$/$O_2$- und $SF_6$/$O_2$-Plasmen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1988 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000125202 |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Umfang | 205 S. |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (ETIT) |
| Institut | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Prüfungsdatum | 01.01.1988 |
| Referent/Betreuer | Jutzi, W. |