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High-speed surface profilometry based on an adaptive microscope with axial chromatic encoding

Luo, Ding

Abstract:

An adaptive microscope with axial chromatic encoding is designed and developed, namely the AdaScope. With the ability to confocally address any locations within the measurement volume, the AdaScope provides the hardware foundation for a cascade measurement strategy to be developed, dramatically accelerating the speed of 3D confocal microscopy.


Volltext §
DOI: 10.5445/KSP/1000125427
Veröffentlicht am 19.02.2021
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Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Informatik – Lehrstuhl IES Beyerer: Interaktive Echtzeitsysteme (Lehrstuhl IES Beyerer: Interaktive Echtzeitsysteme)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsdatum 19.02.2021
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-7315-1061-1
ISSN: 1866-5934
KITopen-ID: 1000125427
Verlag KIT Scientific Publishing
Umfang XXIII, 164 S.
Serie Schriftenreihe Automatische Sichtprüfung und Bildverarbeitung ; 18
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Informatik (INFORMATIK)
Institut Fakultät für Informatik – Lehrstuhl IES Beyerer: Interaktive Echtzeitsysteme (Lehrstuhl IES Beyerer: Interaktive Echtzeitsysteme)
Prüfungsdatum 18.12.2019
Schlagwörter chromatisch, konfokal, 3D Messtechnik, Mikroskopie, chromatic, confocal, 3D measurement technology, microscopy
Referent/Betreuer Beyerer, J.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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