Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2021 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0272-4324, 1572-8986 KITopen-ID: 1000125470 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | Plasma chemistry and plasma processing |
Verlag | Springer |
Band | 41 |
Seiten | 289–334 |
Vorab online veröffentlicht am | 07.10.2020 |
Schlagwörter | Dielectric barrier discharges; Tetramethylsilane; Numerical modeling; Plasma, polymerization |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |