Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2021 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1057-9257, 1099-0712, 1616-301X, 1616-3028 KITopen-ID: 1000125471 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Advanced functional materials |
Verlag | Wiley-VCH Verlag |
Band | 31 |
Heft | 3 |
Seiten | Art.-Nr.: 2006998 |
Vorab online veröffentlicht am | 07.10.2020 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |