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Thin TaN films for infrared SNSPD

Ilin, K.; Rall, D.; Hofherr, M.; Siegel, M.; Semenov, A.; Huebers, H.-W.; Engel, A.; Schilling, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsmonat/-jahr 03.2011
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000125513
Veranstaltung 75. Jahrestagung der DPG und DPG-Frühjahrstagung der Sektion Atome, Moleküle, Quantenoptik und Plasmen (SAMOP) und der Sektion Kondensierte Materie (SKM 2011), Dresden, Deutschland, 13.03.2011 – 18.03.2011
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