Superconducting ultra-thin TaN film nanostructures for optical and infrared detectors

Ilin, K.; Rall, D.; Hofherr, M.; Siegel, M.; Semenov, A.; Huebers, H.-W.; Engel, A.; Inderbitzin, K.; Aeschbacher, A.; Schilling, A.

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seit 01.11.2020

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp	Poster
Publikationsmonat/-jahr	08.2011
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 1000125514
Veranstaltung	14th International Workshop on Low Temperature Detectors (LTD 2011), Heidelberg, Deutschland, 01.08.2011 – 05.08.2011