A Secondary Electron Analyzer for Voltage Measurements
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Elektrotechnische Grundlagen der Informatik (IEGI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1985 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-12-345750-5 KITopen-ID: 1000125719 |
| Erschienen in | Microcircuit engineering 84: proceedings of the Microcircuit Engineering Conference held in Berlin, West Germany, on 25 - 29 Sept. 1984. Eds.: A. Heuberger and H. Beneking |
| Veranstaltung | Microcircuit engineering (1984), West-Berlin, Deutschland, 25.09.1984 – 29.09.1984 |
| Verlag | Acad. Press |
| Seiten | 461-468 |
| Nachgewiesen in | Scopus |