Challenges and solutions related to the fabrication of SQUIDs and metallic magnetic calorimeters
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000125746 |
| Veranstaltung | 2nd Symposium on Direct Write, Optical, Ion and Electron Beam Lithography (2019), Wien, Österreich, 13.03.2019 |