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Influence of operation parameters on BOSCH-process technological characteristics

Osipov, A. A.; Iankevich, Gleb 1; Berezenko, V. I.; Endiiarova, E. V.
1 Institut für Nanotechnologie (INT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.matpr.2020.01.412
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Zitationen: 4
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Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2019
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2214-7853
KITopen-ID: 1000125939
Erschienen in 2019 International Scientific Conference on Materials Science: Composites, Alloys and Materials Chemistry, MS-CAMC, 20-21 November 2019, Saint Petersburg, Russia
Veranstaltung International Scientific Conference on Materials Science: Composites, Alloys and Materials Chemistry (MS-CAMC 2019), Sankt Petersburg, Russland, 20.11.2019 – 21.11.2019
Verlag Elsevier
Seiten 599-602
Serie Materials Today: Proceedings ; 30
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