TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors

Ilin, K.; Rall, D.; Hofherr, M.; Siegel, M.; Semenov, A.; Hübers, H.-W.; Engel, A.; Schilling, A.

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seit 13.11.2020

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp	Poster
Publikationsmonat/-jahr	10.2010
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 1000126082
Veranstaltung	Tagung Kryoelektronische Bauelemente (KRYO 2010), Zeuthen, Deutschland, 03.10.2010 – 05.10.2010