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TaN thin films for Superconducting Nanowire Single-Photon Detectors

Ilin, K.; Rall, D.; Hofherr, M.; Siegel, M.; Semenov, A.; Hübers, H.-W.; Engel, A.; Schilling, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Poster
Publikationsmonat/-jahr 10.2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000126082
Veranstaltung Tagung Kryoelektronische Bauelemente (KRYO 2010), Zeuthen, Deutschland, 03.10.2010 – 05.10.2010
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