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Fabrication of Nb/Al-AlO$_x$/Nb Josephson junctions for quantum devices

Kaiser, Ch.; Meckbach, M.; Skacel, S.; Rezem, M.; Wünsch, S.; Siegel, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Poster
Publikationsmonat/-jahr 10.2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000126358
Veranstaltung Tagung Kryoelektronische Bauelemente (KRYO 2008), Königslutter am Elm, Deutschland, 06.10.2008 – 08.10.2008
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