Fabrication of Nb/Al-AlO$_x$/Nb Josephson junctions for quantum devices
Kaiser, Ch.; Meckbach, M.; Skacel, S.; Rezem, M.; Wünsch, S.
; Siegel, M.
; Siegel, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsmonat/-jahr | 10.2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000126358 |
| Veranstaltung | Tagung Kryoelektronische Bauelemente (KRYO 2008), Königslutter am Elm, Deutschland, 06.10.2008 – 08.10.2008 |