| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1094-4087 KITopen-ID: 1000126501 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Optics express |
| Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
| Band | 28 |
| Heft | 22 |
| Seiten | 33176-33183 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Scopus |