Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nanotechnologie (INT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1094-4087 KITopen-ID: 1000126501 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Optics express |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Band | 28 |
Heft | 22 |
Seiten | 33176-33183 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |