Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-943580-76-7 KITopen-ID: 1000126549 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | CLEO: Applications and Technology : part of CLEO: 2020 : 10-15 May 2020, Washington, DC, United States |
Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
Seiten | Art.Nr. JTh2B.22 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |