| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-943580-76-7 KITopen-ID: 1000126549 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | CLEO: Applications and Technology : part of CLEO: 2020 : 10-15 May 2020, Washington, DC, United States |
| Verlag | Optica Publishing Group (OSA) |
| Seiten | Art.Nr. JTh2B.22 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Dimensions |