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High-NA Confocal Measurement by Diffractive Optical Elements

Li, Zheng

Abstract (englisch):

Diffractive optical elements (DOEs) can produce high-numerical-aperture (NA) spots over a large field. They can be combined with a low-NA objective to measure a large area with high resolution. This work shows experiments of using DOEs in reflection confocal microscope to resolve small structures beyond the capability of the objective. Both qualitative and quantitative results have shown enhancement in lateral and axial resolution by the application of the DOEs, which also agrees to the imaging theory of confocal microscopes.

Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000126698
Veröffentlicht am 30.11.2020
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Anthropomatik und Robotik (IAR)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2020
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-7315-1028-4
ISSN: 1863-6489
KITopen-ID: 1000126698
Erschienen in Proceedings of the 2019 Joint Workshop of Fraunhofer IOSB and Institute for Anthropomatics, Vision and Fusion Laboratory. Hrsg.: J. Beyerer; T. Zander
Verlag KIT Scientific Publishing
Seiten 85-94
Serie Karlsruher Schriften zur Anthropomatik / Lehrstuhl für Interaktive Echtzeitsysteme, Karlsruher Institut für Technologie ; Fraunhofer-Inst. für Optronik, Systemtechnik und Bildauswertung IOSB Karlsruhe ; 45
Bemerkung zur Veröffentlichung Technical Report IES-2019-11
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