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NbN ultra-thin film Hot-Electron Detector for THZ application: Fabrication issues

Ilin, K.; Stockhausen, A.; Neuhaus, M.; Wermund, H.-J.; Siegel, M.; Semenov, A.; Hübers, H.-W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Poster
Publikationsmonat/-jahr 10.2006
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000126783
Veranstaltung Tagung Kryoelektronische Bauelemente (KRYO 2006), Ilmenau, Deutschland, 03.10.2006 – 05.10.2006
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