NbN ultra-thin film Hot-Electron Detector for THZ application: Fabrication issues

Ilin, K.; Stockhausen, A.; Neuhaus, M.; Wermund, H.-J.; Siegel, M.; Semenov, A.; Hübers, H.-W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp	Poster
Publikationsmonat/-jahr	10.2006
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 1000126783
Veranstaltung	Tagung Kryoelektronische Bauelemente (KRYO 2006), Ilmenau, Deutschland, 03.10.2006 – 05.10.2006