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3D substrate structuring for sensitive NbN THz Detectors

Stockhausen, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000126791
Veranstaltung 2nd Karlsruhe Detector Workshop (2010), Karlsruhe, Deutschland, 02.03.2010 – 03.03.2010
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