3D substrate structuring for sensitive NbN THz Detectors
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000126791 |
| Veranstaltung | 2nd Karlsruhe Detector Workshop (2010), Karlsruhe, Deutschland, 02.03.2010 – 03.03.2010 |