Magnetron sputtering of TiN thin films for superconducting single-photon detector

Hansel, R.; Ilin, K.; Siegel, M.; Semenov, A.; Hübers, H.-W.; Hollmann, E.; Engel, A.

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seit 05.12.2020

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp	Poster
Publikationsmonat/-jahr	03.2005
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 1000126971
Veranstaltung	69. DPG-Frühjahrstagung der Sektion Kondensierte Materie, Fachverband Tiefe Temperaturen (SKM 2005), Berlin, Deutschland, 04.03.2005 – 09.03.2005