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Magnetron sputtering of TiN thin films for superconducting single-photon detector

Hansel, R.; Ilin, K.; Siegel, M.; Semenov, A.; Hübers, H.-W.; Hollmann, E.; Engel, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Poster
Publikationsmonat/-jahr 03.2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000126971
Veranstaltung 69. DPG-Frühjahrstagung der Sektion Kondensierte Materie (SKM), Fachverband Tiefe Temperaturen (2005), Berlin, Deutschland, 04.03.2005 – 09.03.2005
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