Superconducting quantum devices fabricated by E-Beam lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsmonat/-jahr | 02.2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000126978 |
| Veranstaltung | 11th Workshop on E-beam Lithography (2005), Dortmund, Deutschland, 28.02.2005 – 01.03.2005 |