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Superconducting quantum devices fabricated by E-Beam lithography

Siegel, M.; Ilin, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsmonat/-jahr 02.2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000126978
Veranstaltung 11th Workshop on E-beam Lithography (2005), Dortmund, Deutschland, 28.02.2005 – 01.03.2005
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