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Fabrication of sub-μm Nb/Al-AlO$_x$/Nb Josephson Junctions with Electron Beam Lithography for Qubit Applications

Kaiser, Ch.; Ilin, K.; Siegel, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Poster
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000126982
Veranstaltung 72. Jahrestagung der DPG und DPG-Frühjahrstagung des Arbeitskreises Festkörperphysik (AKF 2008), Berlin, Deutschland, 25.02.2008 – 29.02.2008
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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