Fabrication of sub-μm Nb/Al-AlO$_x$/Nb Josephson Junctions with Electron Beam Lithography for Qubit Applications
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Poster |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000126982 |
| Veranstaltung | 72. Jahrestagung der DPG und DPG-Frühjahrstagung des Arbeitskreises Festkörperphysik (AKF 2008), Berlin, Deutschland, 25.02.2008 – 29.02.2008 |