Niobium sub-micrometer structures for single photon detectors

Ilin, K.; Siegel, M.; Semenov, A. D.; Hübers, H.-W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp	Poster
Publikationsmonat/-jahr	10.2002
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 1000127058
Veranstaltung	Tagung Kryoelektronische Bauelemente (KRYO 2002), Wandlitz, Deutschland, 06.10.2002 – 08.10.2002