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Electron-beam lithography for quantum devices

Ilin, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsdatum 09.03.2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 1000127144
Veranstaltung 2nd RAITH e-beam-lithography User meeting (2004), Regensburg, Deutschland, 09.03.2004
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