Electron-beam lithography for quantum devices
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsdatum | 09.03.2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000127144 |
| Veranstaltung | 2nd RAITH e-beam-lithography User meeting (2004), Regensburg, Deutschland, 09.03.2004 |