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Liveschaltung zum Dünnschichtwachstum – Ein Echtzeit‐Einblick in das Wechselspiel zwischen Struktur und Eigenspannung während der Sputterdeposition

Krause, Bärbel; Abadias, Gregory



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 12.2020
Sprache Deutsch
Identifikator ISSN: 0947-076X, 1522-2454
KITopen-ID: 1000127145
HGF-Programm 56.03.20 (POF III, LK 01) Nanoscience a.Material f.Inform.Technol.
Erschienen in Vakuum in Forschung und Praxis
Verlag Wiley-VCH Verlag
Band 32
Heft 6
Seiten 26–31
Vorab online veröffentlicht am 03.12.2020
Nachgewiesen in Scopus
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