Liveschaltung zum Dünnschichtwachstum – Ein Echtzeit‐Einblick in das Wechselspiel zwischen Struktur und Eigenspannung während der Sputterdeposition
Krause, Bärbel
1; Abadias, Gregory
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Abadias, Gregory1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Photonenforschung und Synchrotronstrahlung (IPS) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsmonat/-jahr | 12.2020 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 0947-076X, 1522-2454 KITopen-ID: 1000127145 |
| HGF-Programm | 56.03.20 (POF III, LK 01) Nanoscience a.Material f.Inform.Technol. |
| Erschienen in | Vakuum in Forschung und Praxis |
| Verlag | Wiley-VCH Verlag |
| Band | 32 |
| Heft | 6 |
| Seiten | 26–31 |
| Vorab online veröffentlicht am | 03.12.2020 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |