Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsdatum | 27.01.2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 1000127218 |
Veranstaltung | ANKA Machine Advisory Committee Meeting (2015), Karlsruhe, Deutschland, 27.01.2015 |