| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2019 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-5129-7 KITopen-ID: 1000127264 |
| Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2019 - Mikroelektronik MEMS-MOEMS Systemintegration - Saulen der Digitalisierung und kunstlichen Intelligenz, Proceedings |
| Veranstaltung | MikroSystemTechnik Kongress (2019), Berlin, Deutschland, 28.10.2019 – 30.10.2019 |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 464-467 |
| Nachgewiesen in | Scopus |