Entwicklung, Realisierung und Erprobung der Automatisierungsstruktur und -technik einer GF-Einkristall-züchtungsanlage mit Dampfdruckofen unter μg-Bedingungen (Bodenmodell)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Forschungsbericht/Preprint |
| Publikationsjahr | 1996 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000127467 |
| Verlag | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
| Umfang | 97 |
| Serie | Bericht 50 WM 93330/3 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Bericht 50 WM 93330/3 |