Entwicklung, Realisierung und Erprobung der Automatisierungsstruktur und -technik einer GF-Einkristall-züchtungsanlage mit Dampfdruckofen unter μg-Bedingungen (Bodenmodell)

Bretthauer, Georg; Sauermann, H.; Gröll, L.; Janda, O.

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp	Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr	1996
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 1000127467
Verlag	Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Umfang	97
Serie	Bericht 50 WM 93330/3
Bemerkung zur Veröffentlichung	Bericht 50 WM 93330/3

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