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Entwicklung, Realisierung und Erprobung der Automatisierungsstruktur und -technik einer GF-Einkristall-züchtungsanlage mit Dampfdruckofen unter μg-Bedingungen (Bodenmodell)

Bretthauer, Georg; Sauermann, H.; Gröll, L.; Janda, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Forschungsbericht/Preprint
Publikationsjahr 1996
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 1000127467
Verlag Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
Umfang 97
Serie Bericht 50 WM 93330/3
Bemerkung zur Veröffentlichung Bericht 50 WM 93330/3
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