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Temperature Homogenization of Co-Integrated Shape Memory—Silicon Bimorph Actuators

Arivanandhan, Gowtham; Li, Zixiong; Curtis, Sabrina; Velvaluri, Prasanth; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred

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Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000127774
Veröffentlicht am 15.12.2020
Originalveröffentlichung
DOI: 10.3390/IeCAT2020-08501
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2504-3900
KITopen-ID: 1000127774
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erschienen in Proceedings
Verlag MDPI
Band 64
Heft 1
Seiten Art.-Nr.: 8
Vorab online veröffentlicht am 20.11.2020
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