Temperature Homogenization of Co-Integrated Shape Memory—Silicon Bimorph Actuators
Arivanandhan, Gowtham
; Li, Zixiong; Curtis, Sabrina; Velvaluri, Prasanth; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred
; Li, Zixiong; Curtis, Sabrina; Velvaluri, Prasanth; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 2504-3900 KITopen-ID: 1000127774 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Proceedings |
| Verlag | MDPI |
| Band | 64 |
| Heft | 1 |
| Seiten | Art.-Nr.: 8 |
| Vorab online veröffentlicht am | 20.11.2020 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |