Temperature Homogenization of Co-Integrated Shape Memory—Silicon Bimorph Actuators

Arivanandhan, Gowtham; Li, Zixiong; Curtis, Sabrina; Velvaluri, Prasanth; Quandt, Eckhard; Kohl, Manfred

Verlagsausgabe

DOI: 10.5445/IR/1000127774

Veröffentlicht am 15.12.2020

Originalveröffentlichung
DOI: 10.3390/IeCAT2020-08501

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2020
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 2504-3900 KITopen-ID: 1000127774
HGF-Programm	43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erschienen in	Proceedings
Verlag	MDPI
Band	64
Heft	1
Seiten	Art.-Nr.: 8
Vorab online veröffentlicht am	20.11.2020
Nachgewiesen in	Dimensions