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Characterization of a Wireless Vacuum Sensor Prototype Based on the SAW-Pirani Principle

Toto, Sofia; Jouda, Mazin; Korvink, Jan G.; Sundarayyan, Suparna; Voigt, Achim; Davoodi, Hossein; Brandner, Juergen J.

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Verlagsausgabe §
DOI: 10.5445/IR/1000127967
Veröffentlicht am 22.12.2020
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2020
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 2227-9717
KITopen-ID: 1000127967
HGF-Programm 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design
Erschienen in Processes
Verlag MDPI
Band 8
Heft 12
Seiten Art.-Nr.: 1685
Vorab online veröffentlicht am 21.12.2020
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