Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 2227-9717 KITopen-ID: 1000127967 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | Processes |
Verlag | MDPI |
Band | 8 |
Heft | 12 |
Seiten | Art.-Nr.: 1685 |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Gefördert durch den KIT-Publikationsfonds |
Vorab online veröffentlicht am | 21.12.2020 |
Schlagwörter | SAW, Pirani, compact, wireless, vacuum, sensing |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |