Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsdatum | 17.12.2020 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 1931-9401 KITopen-ID: 1000128106 |
HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
Erschienen in | Applied physics reviews |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Band | 7 |
Heft | 4 |
Seiten | Art.Nr. 041413 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |