| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Physik (APH) Institut für Nanotechnologie (INT) Institut für Theoretische Festkörperphysik (TFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsdatum | 17.12.2020 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1931-9401 KITopen-ID: 1000128106 |
| HGF-Programm | 43.23.01 (POF III, LK 01) Advanced Optical Lithography+Microscopy |
| Erschienen in | Applied physics reviews |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Band | 7 |
| Heft | 4 |
| Seiten | Art.Nr. 041413 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |